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海南代理日本HORIBA流量計質量
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海南代理日本HORIBA流量計質量

日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質量流量計

日本HORIBA  SEC-Z700系列熱感傳感器,壓力鈍感質量流量計

型號;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現穩定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統的成本,尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現整個范圍內的高速響應(1秒內)

簡化氣路線無需額外增加調節器,傳感器,過濾器

穩定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板,采用不銹鋼SUS-316L,拋光面表面處理(標準)

輕巧的尺寸

50SLM內相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數字式 , DeviceNet™模式

數字信號控制


日本HORIBA流量計規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
 

此外,藉由產品材料的技術革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求,為客戶提升產品價值。高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質量流量計特征 高精度:設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的, 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統, 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數據。

 

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。

質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規格齊全,同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統,對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

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