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安徽供應日本HORIBA流量計選型
  • 安徽供應日本HORIBA流量計選型

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安徽供應日本HORIBA流量計選型

日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列

STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計

STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計

STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計

STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計

STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器

STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器

STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器

STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器

STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器

STEC SEC-N100數字式質量流量控制器

STEC SEC-Z700熱感傳感器,壓力鈍感質量流量計

STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器

STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器

STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器

STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器


日本HORIBA流量計規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.


日本HORIBA流量計特征
高精度:設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的, 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統, 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數據。
高速響應
SEC-Z500X 使用了開發的“可更改PID”系統,任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優化,實現高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節省了時間和成本。
 

適用于多種不同的產業應用??蓪崿F大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

 


SEC/N122JM氣體質量流量控制器概要

 

 

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業供應商。

質量流量控制事業部專業從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規格齊全,同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統,對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

 

Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.

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