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美國BROOKS流量計GP200系列新品介紹
  • 美國BROOKS流量計GP200系列新品介紹

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美國BROOKS流量計GP200系列新品介紹

這樣做的一個顯著優勢中技術是它消除了需要,具有匹配的絕對傳感器,因此可以防止不受控制的漂移和流量不準確。 一般來說,基于差壓的流量測量,確保 y1 具有超強的準確性和。流量測量的重復性。

基于壓力的質量流量控制器
所有的表現。
沒有任何限制。

 

美國BROOKS流量計GP200系列降低測量不確定度

一個真正的差壓傳感器。卓越的流量測量精度和可重復性。
傳統的基于壓力的 MFC 使用兩個絕對壓力傳感器來計算壓降。GP200 系列采用了一種新穎的傳感器方法——一個絕對壓力傳感器與一個真正的差壓 (ΔP) 傳感器串聯的集成組件。

無需在兩個獨立的絕對壓力傳感器之間進行匹配校準和溫度補償
防止不受控制的漂移和流量不準確
實現卓越的長期穩定性

美國BROOKS流量計GP200系列新品介紹


美國BROOKS流量計GP200系列適用于所有工藝條件

 

所有壓力、所有氣體、所有過程。
傳統的基于壓力的 MFC 需要高入口壓力才能運行。不是 GP200 系列 -層流元件專為低壓降而設計,差壓傳感器具有最佳量程,可準確測量半導體制造中使用的具有挑戰性的低蒸氣壓工藝氣體的流量。

這種獨特的架構使 GP200 系列成為適用于標準壓力和臨界低蒸氣壓氣體的通用 P-MFC 解決方案,確保在所有操作條件下的準確性和可重復性。

35 psia 是 GP200 系列的典型入口壓力規格,但可根據您的具體應用配置更高或更低
設計用于支持關鍵的低壓工藝氣體,包括:
氯化溴3
C 4 F 6 -q
C 4 F 8
碳化硅4
串擾不敏感≤ ±1% 的設定點,最高 40 psi/sec 入口壓力峰值
層流元件


美國BROOKS流量計GP200系列精確和可重復的氣體輸送

 

2.5 倍更快的流動穩定,以提高晶圓吞吐量。
對上升和下降流量穩定時間的超快速、高度可重復的響應,沒有長時間的泄放時間延遲

GP200 系列不受來自脈沖氣體噴射、混合歧管和分流器子組件的不同背壓的影響。獨特的下游閥架構通過將層流元件和 ΔP 傳感器與下游串擾(壓力變化)隔離開來,允許誤差與下游壓力無關,從而能夠將流量輸送到高達 1200 Torr 的下游壓力中。

由于沒有可變的氣體內部體積需要消耗,下游閥能夠快速關閉和切換脈沖氣體輸送的配方設定點。瞬態變化會導致薄膜厚度變化以及電氣變化。

具有快速降壓響應的匹配瞬態響應消除了過渡到低流量設定點時的長排放時間延遲(消除“尾部效應”)。

下游閥門架構


美國BROOKS流量計GP200系列閥門泄漏改善 100 倍

 

控制閥的零泄漏消除了第一晶片效應。
當 MFC 控制閥發生氣體泄漏時,它會在下游氣動隔離閥處引起不必要的壓力積聚,從而形成截留體積的氣體。

當啟動新的配方序列時,這些被困氣體進入工藝室,導致第一片晶圓出現不均勻性和臨界尺寸 (CD) 缺陷,稱為第一片晶圓效應。工藝工程師通過在處理晶圓之前運行虛擬晶圓或將氣流轉移到廢氣中來避免第一晶圓效應。

帶有工程 PCTFE 密封表面的可選零泄漏控制閥提供改進的閥門關閉以消除第一晶圓效應:

<0.005% FS 對于 42-46 箱
<0.02% FS 對于 40-41 箱

工程 PCTFE 密封表面

 

 

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